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大气环境下进相喷涂的模拟研究,详细介绍了气相喷涂的原理,并提出了在大气环境下进相喷涂的概念。
利用小分子薄膜因其独特的性能广泛应用于各种光电器件。这些薄膜一般是在一个高真空环境中利用蒸镀的方式、均匀性好,性能可靠的薄膜,但在高真空环境下难以实现大面积均匀薄膜的沉积且成本较高,不利于大规模生产。其它成膜方式在薄膜制作中也有一定应用,但难以保证薄膜均匀性。
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